匀胶旋涂仪/台式匀胶机 TX50-12Ac
匀胶旋涂仪/台式匀胶机 TX50-12Ac
默认10和30号吸盘,也可选择
技术参数
工作电源：AC200-230V，单相，200W；
装片直径：5/10/20/30....100mm，选择两只；
程序组：1-5 段（编辑页面），12 组；
匀胶时间：3000S,分辨率 0.1S；
速度范围：100-7000RPM；
速度修正：通过 A/K 选择 Kx 试运行可自动修正转速，再回到 Kx 使用
加速度：不可修改
外形尺寸：12Ac=250mm(W)x300mm(D)x180mm(H)不含锅的高度，电机轴高度 40mm；
重量 ：匀胶机 11KG，选配件真空泵 5KG；
真空输入要求：0.06-0.09MPa，真空流量 15 升/Min 以上；
真空接口：自带 6mm 管 1 米；
操作步骤
匀胶机控制屏，关于旋涂工艺相关的，请参考相关型号的使用说明(型号插页)
1、 接通外部真空管路系统，打开真空泵；
2、 匀胶机：按下较大的顶部的红色电源按钮，屏幕显示初始画面，此时请按下（程序组）按钮，选择程序 A1-A12 ，画面回到运行页面，
3、 放基片（硅片、玻璃片等）于吸盘中心处，打开蘑菇头红色真空开关，检查基片是否吸牢，（严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶）。将适量光刻胶滴于基片中心处，按下蘑菇头绿色匀胶开关，。。。。。。(有异常情况，可按一下绿色的匀胶启动按钮，吸盘将停止)等待电机停止转动后，关闭真空、取片。
4、 根据光刻胶的粘度和工作环境温度选择适当转速，一般匀胶时间大约 5~20 秒之间。
5、 将匀过胶的玻璃片立放在玻璃卡盘上放入金属盒中，根据胶的要求放入温箱进行前烘，一般的光刻胶前烘温度 90℃30 分钟。
6、 匀胶机必须关闭上盖后启动、匀胶机转动时严禁用手触摸。用手去抓匀胶机吸盘，能导致本机保护，需返厂处理，请知悉。
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