（LQS）四探测试仪库号：M407253

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四探测试仪（手动不带软件） 型号:ZK14-RTS4

库号：M407253   查看hh

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四探测试仪是运用四探测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技术指标
测量范围 
电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)； 
方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.0005～10000 s/cm；
电阻：0.0001～2000Ω；
可测晶片直径 
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、量程自动显示；
四探探头基本指标 间距：1±0.01mm；
间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探压力：5～16 牛顿(总力)；
四探探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
软件功能（选配）软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据大值、小值、平均值、大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口：并口，高速并行采集数据，连接电使用时采集数据到电的时间只需要1.5秒
标准使用环境 温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射；集团