气体质量流量控制器 库号：M406694气体质量流量控制器 库号：M406694 产品型号 CS200-A型
产品类型 型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤1sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton
输入输出信号 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型 常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数 Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标 ＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
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