离子减薄仪制备仪库号：M403620

离子减薄仪制备仪库号：M403620离子减薄仪制备仪库号：M4036201. 工作条件
1.1 电力供应：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ
1.2 工作温度：15℃-25℃
1.3 工作湿度：< 60%
2. 技术要求
*2.1 离子枪：潘宁式离子枪，装载永磁铁，聚焦离子束设计，无耗件。
*2.2减薄角度：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节。
2.3 样品台旋转：样品台可以旋转，转速1~6 rpm可调。
2.4 样品台移动范围：载台可以实现X和Y方向的移动，移动范围：+/- 0.5mm。
*2.5离子枪束能量：0.1keV~8keV。可在不同电压下自动优化离子束束流。电流密度可达10mA/cm2.
2.6 离子束调制：可以进行角度选择性区域离子减薄减薄
2.7样品更换：快速样品更换时间<1min，无需破减薄室真空
*2.8样品台：DouPost样品台以及装样器，方便快速更换样品以及实现双面减薄。
2.9 真空系统：无油机械泵+80L/S抽气速度分子泵系统。
2.10 所需气体：氩气，操作压力25psi，无需水冷
*2.11 控制部分：10英寸触摸屏控制，菜单化操作，并支持减薄程序的设定和储存。

备注：其中，带*的指标为重要的必须满足的技术指标