二维PSD位置传感器 PCB封装 PSD-W203 二维PSD位置传感器 PCB封装 PSD-W203
PSD(Position Sensitive Detectors)是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD由P衬底、PIN光电二极管及表面电阻组成。与CCD探测器相比,PSD有诸多优点,如位置分辨率高,响应速度快和处理电路简单等。另外,位置信号与落在探测器上的光斑形状无关。 我公司可提供各种精度和规格尺寸的PSD探测器。 特点 ●位置分辨率高 ●光谱响应宽 ●响应速度快 ●位置和光强同时测量 ●不受光斑的约束 ●性高 应用范围 ●光学位置和角度的探测 ●光学遥测系统 ●位移和振动测量 ●激光对中和准直 ●距离测试 ●人类运动姿态分析
工作原理与PSD特点 1 结构 如图1截面图所示,PSD由在平面硅衬底上的三层组成:P型层在表面,N型层在另一面,I层在它们中间。落在PSD上的入射光转换成光电子后由P型层上两端电极探测并形成光电流。 图1 2 原理 当一束光落在PSD上,相应于光能量的电荷在入射点产生,电荷通过P型电阻层被电极收集。P型层是均匀一体的电阻层,被电极收集到的光电流与入射点和电极间距成反比。 由此可得出如下公式:I1和I2是电极的光电流,L和I0分别代表电极间距和总光电流。
图2
当PSD几何中心设定为坐标原点: ----------(1) ----------(2) ----------(3) ----------(4) 当PSD一端设定为坐标原点: ----------(5) -----------(6) ----------(7) ----------(8) 由公式(3),(4),(7),(8)显示,不同的比率可得出相应的与光能量无关的入射光点的位置。 3一维PSD PSD分两种类型:一维PSD(称1D-PSD)和两维PSD(称2D-PSD)探测器,图3a是1D-PSD的结构图。
a b 图 3 图3b是1D-PSD的等效电路图。由于有寄生Cj和Rp,它们的时间常数决定了PSD的响应速度。通过集成电路处理,1D-PSD可用于探测100ps脉冲宽度的激光光斑。 4 2D-PSD 2D-PSD是一种改进型四侧面结构,包括改进敏感面和电极。另外,器件暗电流小,响应速度高和设置偏压容易,边缘畸变小。
图 5 5 转换公式 PSD光敏面上光点位置可由如下公式得出:这里 X1和X2代表每一电极输出信号(光电流),x是光点位置坐标。
图 6
图 7 6 电路 图8是1D-PSD直流处理 电路原理图。Vr是偏置电压。
图8
7 PSD处理电路 我所可提供1D-PSD和2D-PSD信号处理电路。1D-PSD,2D-PSD分别是1D-PSD和2D-PSD非调制信号处理板。只要简单地把处理板连接电源,位置信号就能得到。 本所研制开发了调制信号处理电路,数据可以液晶显示,可以通过RS232口与计算机通讯。 本所还具有PSD应用整机开发的实力。 PSD探测器 ●W101(1D-PSD) 光敏面 1×3mm 分辨率 0.1μm 光谱响应范围 380~1100nm 响应时间 0.5μs 工作温度 -10~60℃
●W203(2D-PSD) 光敏面 21×21mm 分辨率 2μm 光谱响应范围 380~1100nm 响应时间 1μs 工作温度 -10~60℃
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